شرح
توضیحات
MOCVD Graphite Susceptor یک جزء حیاتی در سیستمهای رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD) است. این به عنوان یک پلت فرم با دمای بالا و رسانای حرارتی طراحی شده برای نگه داشتن و گرمای یکنواخت زیرلایه های نیمه هادی در طول رشد همپایی لایه های نازک طراحی شده است.
بسته بندی و تحویل
بسته بندی جعبه چوبی
ویژگی
- هدایت حرارتی عالی برای انتقال سریع و یکنواخت حرارت
- استحکام مکانیکی بالا و پایداری ابعادی در شرایط سخت
- سطح صاف و دقیق ماشین کاری شده برای قرار دادن بستر پایدار
- طراحی شده برای تأثیرگذاری بر دینامیک جریان گاز و شیب حرارتی
مزیت
- ضخامت لایه یکنواخت و کیفیت کریستالی برتر را در لایه epi- تضمین میکند
- از طریق کنترل دمای بستر پایدار، تکرارپذیری و عملکرد بالا را امکان پذیر می کند
- عمر مفید را افزایش می دهد و آلودگی ذرات را به دلیل مقاومت در برابر خوردگی کاهش می دهد
- با وجود چرخه های حرارتی مکرر، یکپارچگی ساختاری را حفظ می کند و از قابلیت اطمینان فرآیند اطمینان می دهد
کاربرد
- عمدتاً در راکتورهای MOCVD برای رشد همپایی لایههای نیمهرسانای ترکیبی (مانند GaN، GaAs، InP) روی بسترهایی مانند سیلیکون، کاربید سیلیکون یا یاقوت کبود استفاده میشود.
- برای ساخت دستگاههای الکترونیک نوری (LED، دیودهای لیزر) و نیمهرساناهای توان فرکانس رادیویی{0}(RF) ضروری است.
تگ های محبوب: گیره گرافیت mocvd، تولید کنندگان گیرنده گرافیت mocvd چین، تامین کنندگان، کارخانه